ITO靶材是銦錫氧化物功能陶瓷材料,主要用于磁控濺射制備ITO透明導電薄膜。
AZO靶材是鋅鋁氧化物功能陶瓷材料,主要用于磁控濺射制備AZO透明導電薄膜。
以等離子體為熱源將相應粉末加熱到熔融或半熔融狀態并高速沖擊背管表面形成致密涂層,從而制備出高純度、高致密度TZO靶材。
以等離子體為熱源將相應粉末加熱到熔融或半熔融狀態并高速沖擊背管表面形成致密涂層,從而制備出高純度、高致密度ZrOx靶材。
以等離子體為熱源將相應粉末加熱到熔融或半熔融狀態并高速沖擊背管表面形成致密涂層,從而制備出高純度、高致密度SiZr靶材。
以等離子體為熱源將相應粉末加熱到熔融或半熔融狀態并高速沖擊背管表面形成致密涂層,從而制備出高純度、高致密度SiAl靶材。
以等離子體為熱源將相應粉末加熱到熔融或半熔融狀態并高速沖擊背管表面形成致密涂層,從而制備出高純度、高致密度Si靶材。
以等離子體為熱源將相應粉末加熱到熔融或半熔融狀態并高速沖擊背管表面形成致密涂層,從而制備出高純度、高致密度NbOx旋轉靶材。
以等離子體為熱源將相應粉末加熱到熔融或半熔融狀態并高速沖擊背管表面形成致密涂層,從而制備出高純度、高致密度Ag靶材。
掌握原料粉體的合成技術,以及外購粉體的二次處理技術(如改善團聚、燒結活性)。
具有成熟的量產技術和Know-How,具備薄膜金屬化工藝及靶材的開發能力。
強度高、絕緣性好、導熱和耐熱性能優良、熱膨脹系數小、化學穩定性好等優點。
技術和生產管理團隊具有豐富的漿料制備、流延成型、燒結、陶瓷金屬化經驗。
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